ozono sukeltas neišryškinto fotorezisto susidarymas
- ozono sukeltas neišryškinto fotorezisto susidarymas
- ozono sukeltas neišryškinto fotorezisto susidarymas
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. ozone induced scumming
vok. Entstehung von nicht entwickelten Stellen im Resist infolge Ozoneinwirkung, f
rus. образование непроявленного фоторезиста из-за присутствия озона, n
pranc. formation de photorésist non développé induite par ozone, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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